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논문 기본정보
차세대 반도체용 ArF Photoresister 개발사례 보고
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 한국산학기술학회 2003년도 춘계학술발표논문집 |
| ISSN | , |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2003-01-01 |
| 초록 | 청정기술을 석유화학분야에 적용하기 위해서는 주어진 공정에 대한 모사기가 요구된다. 본 연구에서는 주어진 공정에 대한 모사기화 과정에서 반응부분과 재순환 부분에 대한 모사기화 과정을 각각 EA(Ethanol) 공정과 MEK(Methyl Ethyl Ketene) 공정을 예로 들어 설명하였다. 완성된 모사기를 기반으로 여러 가지 개선안을 도출하고 그 개선안들에 대한 타당성 검증을 수행함으로써 청정 기술을 현장에 보급하고 이러한 과정을 지속적으로 유지할 수 있는 환경을 제공하였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NPAP&cn=NPAP08068265 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) |