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논문 기본정보
전기화학적 마이크로머시닝 기술을 이용한 균일한 니오븀 표면 에칭 연구
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 공업화학 = Applied chemistry for engineering |
| ISSN | 1225-0112, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 김경민,유현석,박지영,신소운,최진섭 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2014-01-01 |
| 초록 | 본 연구에서는 micro-contact printing을 통하여 니오븀 호일 표면 위에 균일한 에칭 pits를 형성하였다. 균일한 보호층을 형성하고자 전해연마의 효과를 확인하였으며, 기존의 $O_2$ 플라즈마 공정 없이 손쉽게 균일한 에칭 pits를 형성시킬 수 있는 조건을 확인하였다. 메탄올 혼합 전해질을 사용하여 10 min 동안 에칭을 진행한 결과 니오븀 호일 표면 위에 지름과 간격이 각각 $10{ mu}m$ 와 $5{ mu}m$ 로 잘 정렬된 에칭 pits를 관찰하였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201410051648474 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | electrochemical etching,Nb etching,micro-contact printing,epoxy |