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LPCVD용 Si Wafer Baot 제조 기술 개발

저자, 소속기관, 출판인, 간행물 번호, 발행연도, 초록, 원문UR, 첨부파일 순으로 구성된 논문저자 및 소속기관 정보표입니다
저자(한글)
저자(영문)
소속기관
소속기관(영문)
출판인
간행물 번호
발행연도	2012-01-01
초록	최근 반도체의 고 직접화와 대형화 추세에 따라 반도체 장비에 사용되는 세라믹 부품도 고기능, 고 신뢰성 및 대형화 되고 있다. SKC solmics는 기능성 종합 세라믹 부품 소재 회사로써 이러한 점에 맞추어 제품 제조 시작 단계부터 고객에 제품이 인도되기까지 불량률 0 %를 목표로 소재 및 가공법을 꾸준히 연구 개발하고 있다. 최근 당사는 그린 에너지 사업 중 태양광 사업을 시작으로 미래 성장 사업 다변화를 위해 신소재 분야에 많은 연구 인력과 자금을 투입 중이며 기존에 진행되어온 사업의 국외 및 국내에서 확고한 위치를 차지하기 위해 활발한 연구 개발이 이루어지고 있다. 본 발표에서는 당사에서 생산되고 있는 제품들을 소개하며 이러한 제품들의 신뢰성 향상을 위해 연구 개발되고 있는 분야를 소개하고자 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NPAP&cn=NPAP10077313
첨부파일

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