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논문 기본정보
강유전체 박막을 이용한 마이크로파 Tunable 소자 설계
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7 |
| ISSN | , |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2006-01-01 |
| 초록 | In this study, the filter was designed for tuning center frequency and fabricated using ( $Sr,Ba)TiO_3$ ferroelectrics and $YBa_2CuO_7$ high temperature superconductor thin film. The best result in figure of merit was 35 when the $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ thin film deposition temperature was $600^{ circ}C$ , the post anneal condition was $600^{ circ}C$ , 10min in 1atm, $O_2$ . When using $20{ mu}m$ IDC pattern gap. The higher tunability was obtained than using $30{ mu}m$ pattern gap. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NPAP&cn=NPAP08615923 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | Interdigital Capacitance,Ferroelectric Thin Film,Tunable Filter,Figure of Merit |