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장비

진공발생부속장치

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보유기관명	(주)에이티에스엔지니어링
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C600
표준분류명
시설장비 설명	VACUUM ACCESSORIE 시험용 설비들은 시험기판을 흡착하거나 진공을 발생흡입하는 부속장치들이 필요하다 상부 포트에 진공배관들을 연결하여 진공장치에 사용할수 있다. 최대30000리터를 분당흡입할수 있음. 장치 내부에 진공을 발생하는 장치가 있으며. 발생된 진공을 더 응축하는 장치를 통해 30000리터의 공기를 1분당흡입하여 진공실험용기기에 사용하는 부속장치임. 단독으로는 사용할수는 없으나 진공용설비에 연결하여 진공환경을 구성할수 있음.전원은 220V/3상4선식 흡입포트 DN 160 배기포트 DN 40KF 조작 : 외부조작장치 제공 내부구성 : PUMP와 진공을 압축시키는 부스터를 구비함진공CHUCK등 진공용기 흡입하는 장치에 응용사용하는 부수적인 장치임.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121107093443.jpg
장비위치주소	경기 성남시 중원구 상대원1동 442-13 중일아인스프라츠 F3
NFEC 등록번호	NFEC-2013-01-174110
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035275
첨부파일