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박막두께측정기

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보유기관명	(주)코템
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F202
표준분류명
시설장비 설명	반사량에 근거하여 두께를 측정(Reflectometer) 두께변화량을 실시간으로 측정, 시각별로 디스플레이 출력 가능 Windows 기반의 S/W로 Excel, Origin, MS-Word 등으로 측정 결과 저장 가능 다양한 n, k 모델 지원 (Cauchy, Cauchy Expotential, Sellmeier) 2D,3D Mapping data Display (point by point) Semi-automatic mechanism stage control 측정 속도 우수, 측정 방법 간편 CCD Camera + Auto Focusing-Thickness measurement range : 100A~35㎛ -Objective Lenses : 5X, 10X -Auto Focusing Function & Auto X,Y Stage -Sample Size:300x300mm(12“Wafer) Data Acquisition System.(Computer) : Included Data Analysis Software : Included Accessory -Operating manual CD, Spare Light source M50x Lens Reference Sample(Made in KMAC)1. 패턴 인쇄 형성(Paste 사용) 후 시각별로 디스플레이 출력이 가능하며, 실시간으로 전극의 두께 측정 가능. 2. 두께 Data측정시 선저항, 선 폭으로 비저항 계산 가능.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201410/.thumb/2014103091244384.jpg
장비위치주소	경기 파주시 문산읍 당동리 878번지 (주)코템 본관 2층 연구실
NFEC 등록번호	NFEC-2014-10-192759
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0045617
첨부파일