장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

드라이필름 디벨로퍼

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	멤스솔루션
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C500
표준분류명
시설장비 설명	MEMS 공정시나 Wafer Packaging 공정시 10um~100um영역의 영구 구조물이나 bonding용 매개체 도금용 mold용으로 감광성 dry film을 널리 사용한다. Dry film은 photoresist와 비슷하나 photoresist가 액상인 반면 Dry film은 이름과 같이 수십um 두께의 film 형태이다. 이를 현상하기 위한 장비가 본 장비이다. wafer를 로터에 올려 놓으면 로터가 저속으로 회전함과 동시에 상부에 있는 developer 분사 노즐에서 developer가 고압으로 분사되어 화학적/물리적 develop이 된다. Develop 작업 후에 DI rinse작업도 가능하다. 4인치6인치 wafer전용 장비이다. Kolon accuimage Dupont vacrel Dupont MX series TOK 제품군 등 다양한 제품의 develop이 가능하다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110126150248.jpg
장비위치주소	경기 용인시 처인구 백암면 고안리 633-2 고등기술연구원 B1층 (주)엠에스솔루션 Fab.
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-138536
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024394
첨부파일