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장비 및 시설 기본정보
화학 기상 응축 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 디지웨이브 테크놀러� |
| 모델명 | DTC-2000A |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B302 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - Chemical Vapor Process - Source condensation using by High Temperature & Plasma - Product Nano powder of under 100nm - Carrier Gas : He Ar 1. Reactor #1 : High temp reactor Reactor #2 : Plasma enhanced reactor 2. Condensation chamber - UHV Vaccum Cryogenic cylinder 3. Source - Liquid : Bubbling Temp(~200℃) - Solid : Sublimation(~600℃) - 화학 응축 반응에 의하여 100nm 이하의 나노 Particles 생성 - 1200 oC 고온반응 - RF plasma 반응 - 액체 bubbling (200 oC) - 고체 sublimation (600oC) - 진공 반응 및 저온냉각 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/20140513101850270.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 1층 신소재실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047794 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007457 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |