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장비
장비 및 시설 기본정보
나노스펙
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 케이맥(K-MAC) |
| 모델명 | ST-2000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-08-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F804 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 박막 두께 측정 Manual type의 형태 ST-2000 측정 박막 종류 Oxide on silicon Nitride on silicon Nitride on oxide Poly on oxide PR 시편 ~ 6” 까지 측정 가능 측정하고자 하는 시료의 박막 두께가 10nm미만 경우 담당기사에게 문의 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/9F85B85E36F042844925716F001E0338.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104동 (반도체공동연구소) 1층 C2-7 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-007919 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0001609 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |