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장비 및 시설 기본정보
세정장치 (Part cleaner)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이치아이티 |
| 모델명 | NXWET |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 화학약액을 이용한 웨이퍼의 세정 및 습식식각 진행 * 구성 및 성능 - SPM/SC1/Solvent Bath로 구성됨. * 사용예 - 금속노출 공정 후 세정 * 주시험 분야 - 반도체 일괄공정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/2014051416957681.JPG |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 1층 FAB |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-048015 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007518 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |