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장비
장비 및 시설 기본정보
전계방사형 주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | TESCAN |
| 모델명 | MIRA 3 LMU |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-12-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국해양대학교 종합실험실습관, 융복합공동 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | 물리·재료장비 |
| 시설장비 설명 | 고휘도의 콘형 Schottky-type FE gun을 장착할 경우 최대 X600,000에 이르는 고배율과 최대 1nm에 이르는 고 분해능을 얻을 수 있음. FE-SEM은 전기적 기계적 쉴드가 쉽게 이루어져 전자기파나 진동에 안정한 조작이 이루어지며 고진공 시스템과 결합되면 고 분해능의 장비로 이용될 수 있음. 반도체 냉각방식인 Peltier-cooled EDS는 기존의 액체질소를 계속 공급하는 방식에 비해 비용의 절감과 편리한 시편 조성분석을 가능하게 함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/kw38Q153LOFNp6DgO74j_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 한국해양대학교 |
| NFEC 등록번호 | |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-clc_hhu-00004 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |