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장비
장비 및 시설 기본정보
표면저항측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | KLA-Tencor |
| 모델명 | RS55/tc |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-02-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 연세대학교 비아이티 마이크로 팹 센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D102 |
| 표준분류명 | 시험·검사장비 |
| 시설장비 설명 | Purpose(사용목적): Sheet resistance measurement of substrate and thin films (기판 또는 박막의 면저항 측정) Measurement Method (측정방법): contact by 4-point probe (4-point probe 접촉 측정) |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/JJiPXpytaFYDudPeABcR_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 서대문구 연세로 50 첨단과학기술연구관 B206호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-02-197600 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-YS_BIT-00032 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |