| 시설장비 설명 |
전계방출형 주사전자현미경은 일반적인 현미경인 열전자방출방식의 Gun과 달리 electron source인 filament metal표면에 electric filed를 걸어 주어 전자를 방출시키는 guntype의 현미경이다. 이러한 현미경의 가장 큰 특징은 high resolution의 image를 관찰할 수 있다는 장점과 쉽게 electron beam의 damage를 입는 시료들에 대해서 낮은 가속전압에서 비교적 고배율 관찰이 용이하다.● FE-SEM, ◆ Resolution:1.0nm at 15kV, 1.5nm at 1kV, ◆ Magnification: x25 to x1,000,000, ◆ Accelerating Voltage: 0.1kV to 30kV, ◆ Probe Current: 1pA to 200nA, ◆ Aperture Angle Optimizing Lens : Built-In, ◆ Energy Filter: Built-In(Newr-Filter), ◆ Gentle Beam: Built-In, ● Specimen Exchange Chamber: One Action, Specimen Exchange(Built-In), ● Specimen Stage: Eucentric, 5 axis motor control, ● Evacuation system: SIP 2sets fo rGun, TMP, RP, Fore-line Trip, ● EDS, ◆ Resolution:127eV at Mn Ka, 20,000cps, ◆ Detector: Analytical Silicon Drift Detector(SDD), ◆ Detectable elements: Be4~Pu94, ◆ Detectable Window size: 50mm2, ◆ Liquid Nitrogen free type detector● 고해상도/고배율 표면 구조 관찰, ● 나노 수준 미세 구조의 표면 관찰, ● 각종 유기물/무기물 시료 (필름, 섬유, 입자, 금속등) 관찰, ● 원소분석 (점 분석, 선 분석, 면 분석) |
