| 보유기관명 |
서울대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C507 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
wafer size - 4 6 inch - Steady state Temp. - 300℃ ~ 900℃ - Max Temp. - 1000℃ - Lamp-up rate - 15℃/min - Lamp-down rate - 10℃/min - Base pressure - 5mTorrNitride Poly 박막증착용 |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/FE4D8E3A33B169F8492571A90018C30E.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104동 (반도체공동연구소) 1층 C1-6 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2007-10-007915 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0001606 |
| 첨부파일 |
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