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장비
장비 및 시설 기본정보
초미세 이차이온질량분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | CAMECA France |
| 모델명 | Nano SIMS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-03-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 부산센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B604 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 50nm 크기의 일차이온을 시편에 주사시켜, 방출되어지는 이차이온의 잘량을 측정하여 고체 시료 표면에 존재하는 미량 불순물의 분포 및 함량을 분석하는 장비. 절연체 분석이 가능하며, 다중검출기가 장착되어 있어 동시간에 최대 5개 원소까지 검출이 가능함. 또한, 작은 일차이온원을 이용하여 분석을 하지만 ppm 수준의 낮은 검출한계를 구현할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://use.kbsi.re.kr/html/user/equ_photo/PH405.JPG |
| 장비위치주소 | (618-230)부산광역시 강서구 지사동 1275번지 한국기초과학지원연구원 하이테크소재연구부 |
| NFEC 등록번호 | |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-KBSI_BSC-00115 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |