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전계방사형 주사전자현미경

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보유기관명	한국기초과학지원연구원 제주센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	1) 전자파 또는 전자빔을 만들어낼 때 고체물질 내에 들어있는 많은 수의 전자를 공중으로 띄 워 내야 하는데 높은 전계(electric field)를 가하여 전자가 방출되도록 하는 것. 2) 전류의 안정도가 매우 좋기 때문에 lithography 작업에도 적합하며 낮은 가속전압에서도 우수하게 시편이 표면 미세구조를 관찰할 수 있음
장비이미지코드	http://use.kbsi.re.kr/html/user/equ_photo/JJ06.jpg
장비위치주소	한국기초과학지원연구원 제주센터 122호실
NFEC 등록번호
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-KBSI_JEJU-00101
첨부파일