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장비
장비 및 시설 기본정보
유/무기 진공증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 브이티에스 |
| 모델명 | Hybrid Combinatory System |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-01-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 EEWS대학원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D300 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - Deposition of organic materials and metals within separate process chambers - Evaporation of almost every materials possible - High deposition rate and freedom from contamination - The chambers are constructed in inline typ |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/JUrIxXWy9ke1WljTX41J_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 구성동 한국과학기술원 KI빌딩 A502 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-09-084482 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-KAIST EEWS-00021 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |