| 보유기관명 |
한양대학교 ERICA캠퍼스 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
C504 |
| 표준분류명 |
|
| 시설장비 설명 |
진공증발기는 진공 분위기에서 전자빔을 이용하여 금속 및 그 화합물을 증발시켜 박막을 증착하는 장치이다. 증착 금속 종류는 니켈 알루미늄 티타늄 알루미늄 구리 귀금속 등이 있다.진공장비로는 저진공의 로터리 펌프와 고진공의 터보펌프를 이용하고 있다. 챔버 안에 6개의 포켓으로 구성되어 6개의 소스를 장착할 수 있으며 6인치 웨이퍼 사이즈의 기판까지 증착이 가능하다. 또한 기판의 온도와 회전수 조절이 가능하다.니켈 알루미늄 티타늄 알루미늄 구리 귀금속 박막 증착과 반도체 공정의 패터닝에 이용될 수 있다. 또한 센서 태양전지 메모리 등의 전자소자의 전극형성에 응용될 수 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/20140423144535591.jpg |
| 장비위치주소 |
경기 안산시 상록구 사3동 한양대학교 1271번지 한양대학교 안산캠퍼스 제5공학관 3층 323 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2014-04-186922 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0043949 |
| 첨부파일 |
|
