| 보유기관명 |
한국생산기술연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A200 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
1. 이미지 능력 - 측정속도 측정방향 시료두께에 상관 없이 어떠한 측정환경에서도 이미지 왜곡 없음 (선형성 : 1 % 미만) 2. 기본장비 사양 및 성능 1) 콘트롤 시스템 - CPU & 메인 메모리 : Intel Core 2 3.x GHz 4 GB RAM - 저장장치 : 2 x 160GB hard disk - 그래픽 : Dual DVI 1920x1080 pixel - 운영체계 : 윈도우 7 Professional - X/Y/Z 콘트롤 회로 : 3축 모두Closed-loop Feedback 위치제어 - DSP 제어 : 600 MHz DSP Control ( 4800 MFLOPS ) - Electrical Controller : 20 bit DAC for xyz scanner positioning 24 bit ADC for xyz position sensor Digital Q control. - 듀얼 23 인치 LCD 모니터 - 7개의 입력단과 3개의 출력단이 하나의 보드에 장착 - 외부 신호와의 동조를 위한 End-of-pixel end-of-line end-of-frame cantilever modulation과 bias modulation 등 5개의 TTL 신호 출력단이 있음 - 컴퓨터 / 콘트롤러 통신 : TCP/IP 또는 USB 2) EFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 - 최대 샘플 사이즈 : 50mm x 50mm ( 두께 : 최대 20mm ) - 최대 샘플 중량 : 500 g - 샘플 이동거리(XY) : 최대 20mm x 20mm ( 고정밀 모터 스테이지 ) - 50 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어 * 수평(XY) 측정영역 : 최대 50 um x 50 um * 분해능 : < 0.05 nm (open loop) < 0.3 nm (close loop) * Out-of-plane curvature (스캐너 왜곡율) : 2 nm 미만 (수직방향 / 소프트웨어 보정 없이 40 um 측정 시) - 수직(Z) 스캐너 : * 수직(Z) 측정 영역 : 최대 15 um * Noise floor : < 0.02 nm (typical) < 0.03 nm (maximum) * 최대 공진주파수 : 9 kHz 이상 - 수직(Z) 스테이지 이동 : 25 mm - 캔틸레버 변형의 검출 방식 : SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용 * 파장 : 830 nm ( Coherent Length : 50um 미만 ) - 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 3MHz - 측정 기능 : EFM DC-EFM SKPM PFM Contact AFM DFM NC-AFM LFM Phase Image Force vs. Distance spectroscopy FMM MFM Nanoindentation. - 비디오 광학 현미경 : 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 ) * 배율 : 780 배 이상 ( 19" LCD 모니터 상 ) * 해상도 : 0.4 um 1M pixel ( 10X objective lens ) * 디지털 인터페이스 : IEEE 1394 * 관찰 영역 : 480 mm x 360 mm * 디지털 줌 : 최대 100 배 3) 시스템 성능 - X/Y/Z 스캔 제어 : 하드웨어 Closed-loop Feedback 제어 - Tip / 시료 접근 : 5 Phase 스텝 모터 구동 * Backlash-free harmonic gear reduction - 레이저 빔 정렬 : 광학경로에 방해물 없어서 캔틸레버에 손쉽게 정렬 - 캔틸레버 교환 : 칩 마운트를 이용하여 손쉽게 교환가능 - 도브테일 헤드 마운트 : 레일을 따라 이동함으로써 탈착 용이 - Step-and-Scan 기능 * 사용자 지정 좌표들에서의 시료 표면 형상 자동 측정 기능.1. 대기중에서 극초정밀 분해능으로 시료표면 관찰 2. 원자수준의 분해능으로 3차원 입체구조 분석 3. 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 왜곡현상 없는 이미지 화상 도출 4. 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제 5. 고속구동 가능한 수직(Z) 스캐너 ( 최대 주파수 : 9 kHz 이상) - 튜브 스캐너 대비 약 3 ~ 5 배 속도 - True Non-Contact Mode 측정 가능 * Tapping Mode로는 측정할 수 없는 Soft 샘플 등 측정 가능 6. 수직(Z) 스캐너 축에 일치된 광학 현미경 - 측정 위치 찾기 / 위치 이동에 편리 7. 측정 기능 : EFM DC-EFM SKPM PFM Contact AFM Dynamic Contact AFM True Non-contact AFM LFM Phase Imaging Force vs. Distance spectroscopy FMM MFM Nanoindentation. 1. 보증 기간 : 장비 검수 후 2년 2. 장비 설치 및 검사 : 1) 장비의 설치는 제작회사의 숙련된 기술자가 직접 방문하여 설치하고 검사한다. 3. 교육 : 1) 장비사용교육은 장비가 설치된 장소에서 실시한다. 4. A/S : 1) 제작회사 안에 숙련된 엔지니어로 구성된 별도의 고객지원팀을 운영한다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/2014050910915141.JPG |
| 장비위치주소 |
경기 안산시 상록구 사동 1271-18 한국생산기술연구원 융복합동 3층 310 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2014-07-190417 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0042778 |
| 첨부파일 |
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