장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

이온 밀링 시스템

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	서울대학교 산학협력단
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C504
표준분류명
시설장비 설명	진공 증착된 금속박막에 패턴을 형성시켜 주기 위해 알곤 및 반응성 가스를 사용하여 발생된 이온으로 필요 없는 부분을 선택적으로 식각시키는 장비이다. 로드락 시스템으로 공정시간 단축 및 능률이 높으며 소재 개발 등에 아주 적합한 다양한 식각실험이 가능한 장비 구조이다.식각균일도 : - 5% 이내 - 2 inch sample 전면 식각속도 : -0.75 ~ 10A/sec @ Ta (탄탈륨) 로드락 시스템 미세 다층 산화물 소자 제작Clean room 내에 설치되는 공정관련 다른 장비들과 함께 시편 제작 시 발생할 할 수 있는 각종 오염을 최소화하면서 궁극적으로는 시편을 회전시키거나 절삭되는 각도를 조정하고 수십 nm 크기의 다양한 물질을 정확하게 절삭함으로써 우수한 품질의 다기능 미세 다층 산화물 소자 제작이 가능하다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/2014042520658541.JPG
장비위치주소	서울 관악구 대학동 서울대학교자연과학대학 산 56-1 서울대학교 19동 (자연과학대학) 4층 420
NFEC 등록번호	NFEC-2014-05-188292
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0043179
첨부파일