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장비
장비 및 시설 기본정보
진공 프로브 스테이션
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엠에스테크 |
| 모델명 | M6VC |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-12-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 포항공과대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 반도체 소자의 PAD 크기는 수십~수백 마이크론 단위로 육안으로 식별이 어려우며 직접 손으로 전기적 연결을 수행하는 것이 불가능하다. 본 프로브 스테이션은 이러한 반도체 소자 및 회로의 측정에 있어 전기적 연결 수행에 필수적인 장비이다.-사용 용도 : 반도체 소자 측정 - 사용 목적 : 외기에 민감한 유기 반도체 소자 측정 시 미세한 PAD에 전기적 연결을 위한 장치 -활용 분야 : 제작 된 유기물 반도체 소자 및 회로 측정 -주요사양: 고진공 10-6 Torr 온도조절: 섭씨 -197~300도 70mm Hot/Cool Chuck CCD Camera 400X Microscope 6 Micropositioner유기물 반도체의 경우 물질 특성 상 대기중의 공기 및 수분에 쉽게 반응하여 전기적 특성이 심각하게 저하되는 현상을 보인다. 이를 방지하기 위하여 별도의 외부 장치를 이용하여 질소 분위기에서 측정을 수행하였으나 글로브 박스 내부의 오염원 혹은 질소 이외의 공기 유입에 의하여 소자의 열화현상이 우려된다. 본 장비는 샘플이 삽입되는 챔버를 10-6까지 고진공으로 유지하는 장비로 제작된 소자의 열화현상을 최소화할 수 있는 장비로 여타 장비와 구분되어 유기 반도체 소자 측정 및 분석 관련 과제에 사용되며 유기 반도체 소자 제작 및 측정 교육에 사용 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201406/.thumb/20140602211911238.png |
| 장비위치주소 | 경북 포항시 남구 효자동 포항공과대학교 산31 포항공과대학교 나노융합기술원 5층 501 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-06-188887 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0043653 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |