| 시설장비 설명 |
본 장비는 기본적으로 Gate, Source, Drain으로 이루어진 FET의 전기적 특성을 다채널로 동시에 측정할 수 있는 장비이다. FET의 전기적 특성을 측정할 수 있으면 FET로 이루어진 Biosensor의 전류 변화를 다채널로 동시에 측정할 수 있다. LCR 미터가 구비되어있어 Strain Gauge와 같은 저항변화 소자를 대면적에서 동시에 측정할 수 있으며, Capacitive sensor array의 정전용량 변화역시 대면적에서 동시에 측정가능하다.4채널의 SMU 보드를 두 개 구비하고 있어 8채널 동시에 측정 가능하며, 고성능의 LCR 미터가 구비되어있어 저항과 정전용량의 변화를 측정할 수 있다. SMU 보드와 LCR 미터는 Matrix 모듈과 LabView Software와 연동되어 8x16 array의 Biosensor, 8x16 array의 Strain Gauge, 1x32 array의 Capacitance 변화를 대면적에서 동시에 측정가능하다.본 장비를 이용하여 여러 타입의 센서의 전기적 특성을 측정 가능하다. FET type의 센서 (글루코스 센서, 트롬빈 센서 등)의 전류 변화, 저항 변화형 온도센서, 스트레인게이지, 정전용량형 터치센서 등 실생활에 응용가능한 다양한 센서의 전기적 특성을 측정 가능하여 센서 개발에 본 장비가 큰 역할을 할 수 있다. |
