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장비 및 시설 기본정보
실시간 박막잔류응력 시험/분석 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | CIGS 5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-11-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | (1) 실시간 잔류응력 시험/분석챔버 : Metal Oranic Oxide & Halide 물질을 증착할수 있는 소스 및 제어유닛 기판온도제어 및 구동유닛과 잔류응력을 측정할수 있는 센서로 구성된다. (2) 로드락챔버 : 진공중 기판이송이 가능하게 하는 챔버 와 기판이송유닛으로 구성된다. (3) 전기 및 제어장치부 : 시스템안전장치 및 자동화고정이 가능하게 구성된다.(1) 본 시스템은 다양한 물질(Metal Oxid Organic 및 Halide 물질)의 박막을 진공중에 증착하면서 실시간으로 잔류응력을 측정하는 장치이다. (2) 증착소스로는 고온용 증착소스(3세트)와 저온용 증착소스 (1세트) 로 구성되며 Thickness Sensor 및 Controller 를 통해 증착두께에 대한 정밀한 제어가 이루어져야 한다. (3) 기판은 100mm X 100mm 의 소다라임글라스 (2~3T) 가 호환되도록 구성이 되어야 한다. (4) 균일한 박막의 두께를 제어하기 위해서는 기판에 회전기능이 반영되어야 하며 높낮이 조절이 자동으로 가능하여야 한다. (5) 최대 600도까지의 고온공정이 이루어져야 하며 기판에 균일한 온도가 전달이 되어야 한다. (6) 공정중 기판의 후면을 이용하여 실시간으로 박막의 잔류응력을 측정하여야 하며 이는 In-Situ Curvature Sensor를 이용하여 인터페이스로 연결된 PC를 통해 실시간으로 데이터화 하여 그래프로 전송이 되는 기능을 포함하여야 한다. (6) 로드락챔버를 이용하여 기판을 자동으로 이송하며 모든 공정사항은 Auto Process 로 진행되어야 한다.기판소재와 박막소재의 이중접합으로 인한 열팽창계수 및 격자상스 차이에 의해 발생하는 박막잔류응력은 태양전지의 기능/역학적 특성에 집적적인 영향을 미침 이러한 박막잔류응력은 계면박리를 야기시켜 태양전지 신뢰성에 악영향을 미치고 증착후 스크라이빙 공정시 불량의 주요 원인이 작용하고 있어 태양전지 기판소재 장비 및 소재회사 등의 실시간 박막잔류 응력에 대한 시험분석 문의가 많음 유연성 기판 등 기판소재 박막소재간 실시간 박막 잔류응력 시험/분석과 기판의 곡률 표면반사 등을 측정함으로서 기판 검사장비로도 활용이 가능 주요 수요기업 - 박막태양전지 제조회사 : 금호전기 LG이노텍 삼성SDI solopower korea - 기판 제조 및 가공회사 : 포스코 BNG스틸 대양금속 일본금속 한글라스 - 장비제조회사 : Applied materials 셀코스 울텍 선익시스템 - 소재 관련 회사 : DCT 동우화인켐 한남세라믹 등 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/201311261134498.JPG |
| 장비위치주소 | 광주 북구 오룡동 첨단과기로 208번길 6 한국생산기술연구원 솔라시티센터 5층 5215호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-12-184181 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041671 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |