| 보유기관명 |
(주)가하 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A407 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
공초점현미경(CLSM: Confocal laser scanning microscopy)을 구성하는 주요 장비로 CLSM 내부에 장착되어 시료를 비접촉 방식으로 측정하여 시료의 3차원 형상 데이터를 계측함.Laser interferometry는 발광부는 405nm 파장대의 laser diode와 laser power laser control board로 구성되었으며 수광부는 Image sensor 및 controller로 구성되어있음. 수광부의 이미지 획득 속도는 512*512 pixel 기준으로 30frames/sec 임.Laser interferometry는 공초점영상을 획득하여 시료의 3차원 형상을 계측함.
측정 분해능은 배물렌즈의 배율에 따라 달라짐. 최대 수십 나노미터급의 분해능 가능하여 반도체 시료의 형상 측정에 주로 사용됨. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201312/.thumb/20131227102852110.jpg |
| 장비위치주소 |
경기 용인시 기흥구 영덕동 U-TOWER B158호 (주)가하 (주)가하 유타워 지하1층 158 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-12-184597 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0042185 |
| 첨부파일 |
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