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장비
장비 및 시설 기본정보
슬릿 다이 코터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 나래나노텍 |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-09-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | LG이노텍(주) |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C209 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1) 국책 과제 샘플 제작用 Photoresist 및 Insulator 코팅 時 사용 2) Nano Mesh PJT Hybrid Mold 제작을 위한 Photoresist 코팅 時 사용 3) 연구소 內 2G 급 Photo Sample 제작 時 활용 가능 4) 10인치급 플렉시블 터치의 Sample 제작 및 평가 時 High Quality를 확보하기 위해 필요함 5 ) 연구소 內 Photo litho. 공정 時 활용가능 ？ 現 PCB 노광기 / 3747 Spin 현상기 등과 함께 1층 Fab. Photo Litho. Process 구축- Slit Nozzle / Gantry 1) Coating 방식 : Nozzle이 이동하면서 도포하는 Gantry 이동방식. 2) Nozzle 높이 교정 : 흡착 Table에 탑재된 2개 이상의 Gap Sensor에 의해 자동교정 할것. 3) Z축 구동방식 : AC Servo + Ball Screw + LM Guide로 구성되며 AC Servo Motot는 Mitsubish 또는 YASKAWA로 지정한다. LM Guide는 THK 또는 NSK로 지정한다. 4) Z축 속도 : Max. 20mm/sec. 5) Nozzle 적재 중량 : Max. 80kg. 6) Nozzle 도포 폭 : 300mm 이상. 7) Nozzle 안전장치 : Nozzle 선단에 Protection Bar를 설치하여 코팅시 기판 과 Nozzle 사이의 충돌을 예방한다. - 도액 공급 Unit 1) 도액 공급 형태 : 갤론병 CAP joint 형식이며 SUS Tank를 통해 Nozzle에 직접 취부하는 형식 2) 도액 송액 방법 : CDA에 의한 송액 3) SUS Tank 용량 : 0.5~1.0 liter 4) 도액 라인 재질 : 테플론과 같은 내약품성이 강한 반투명 또는 투명 라인을 적용함. - 도액 Pump 1) 구동 방식 : AC Servo + Ball Screw + LM Guide로 구성되며 AC Servo Motot는 Mitsubish 또는 YASKAWA로 지정한다. LM Guide는 THK 또는 NSK로 지정한다. 2) Pump 용적 : Max. 36cc 3) 도액 Pump는 無맥동 Pump를 사용함.* LGIT 지정 재료 1종을 기본으로 하여 모든 Spec.을 검증함. - 점도 : 10~70cp - 성상 : 액상 코팅 재료이며 SUS나 도액라인에 부식을 초래하지 않는 성분만 포함하며 Nozzle 또는 도액라인을 막히게 할 수 있는 Particle 입자는 포함하지 않는다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201403/.thumb/20140317174538556.JPG |
| 장비위치주소 | 경기 안산시 상록구 사동 1271 엘지이노텍 (주) 부품소재연구소 1층 Fab |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-03-186331 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0042427 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |