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두께측정기

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보유기관명	이엘케이(주)
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F202
표준분류명
시설장비 설명	- ITO 박막 Index matching layer 등 공정개발 - Sputtering공정 등 Metal 박막의 개발 등 새로운 터치 기술에 적용 - ITO 증착 및 Hard coating 두께 등 연구의 효율성- Sample Max size: 4-inch Square Block (standard) Max 6x6inch holder - Sample Max Thickness: 50mm - Stage Movement: 4” x 4” - Stylus Force (자동 기록침 force): 1-15mg - Scan speed: 2㎛/sec≤X≤200㎛/sec - Data point per scan: 120000ITO 증착 Insulator coating planarization ITO Bridge 형성 XY ITO patterning 관련 평탄도 측정 등 - ITO증착 두께 측정 수요 100% - Planarization ITO sputtering 두께 측정 - XY ITO patterning 평탄도 측정 - Metal 증착 분석 - ITO Film metal 증착 두께 균일도 향상 - 박막 후막의 두께 측정(Step height) 및 스크레치 구멍마모깊이와 부피등 측정 - Dimensional analysis와 표면조직 특징 분석 - 표면의 평평도와 굴곡 측정
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/20131114154319287.JPG
장비위치주소	대전 유성구 용산동 587번지 L3 이엘케이(주) 용산동 2층
NFEC 등록번호	NFEC-2013-11-183924
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0042155
첨부파일