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전계방사형주사전자현미경

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보유기관명	금오공과대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	상온에서 전자Beam에 강한 자계를 걸어 방출되는 전자 Beam을 광원으로 사용 Beam current가 상대적으로 작기 때문에 일반적인 Thermal Type의 FE-SEM보다 좀 더 좋은 분해능 구현 가능 추가 장착된 80㎟의 대면적 SDD Detector를 통해 원소검출 능력 면에서 획기적인 성능 향상Gun Type: Cold Field Emission Electron Gun Type Resolution: 0.1 nm (15 kV) 2.2 nm (1 kV) Accelerating Voltage: 0.5 kV ~ 20 kV Magnification: X 25 ~ 650000 Probe Current: 0.1 pA ~ 2nA금속 및 재료분야 시료의 표면 Image 및 원소 조성차이에 의한 조성상 관찰 불순물의 위치파악 및 형태 크기 관찰 화학 공업분야 고분자의 형태와 크기 표면형상 관찰 시료의 원소분석과 Mapping을 통한 구성성분 분석 관찰 시료의 정량？정성 분석(Point Line Mapping)
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/20131101145640951.jpg
장비위치주소	경북 구미시 양호동 금오공과대학교 그린에너지관 217-2호 금오공과대학교 그린에너지관 2층 219-2
NFEC 등록번호	NFEC-2013-11-183758
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0042152
첨부파일