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장비
장비 및 시설 기본정보
전기수력학 방사 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엔젯 |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-06-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (재)나노기반소프트일렉트로닉스연구단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 전기수력학 리소그래피를 위한 고전압 발생 모듈 및 고정밀 주사 펌프이며 고전압 모듈은 양극성이며 펄스 전압 방출이 가능하여 다양한 패턴의 리소그래피가 가능하다. 또한 Vision 모듈을 통해 리소그래피의 실시간 관찰과 alignment 가 가능하다.High Votage Module: Bi-polar (±4kV) - Source Voltage Generator using Microcontroller chip - High Voltage Amplifier: Slew Rate (40V/㎲; less than 2kHz) - High Voltage Electrical Line: LDH type PC Control - Ink Supply Module: High Precision Syringe Pump - Min. Flow Rate: 0.001㎕/min(0.5㎕ Syringe) Max. Flow Rate: 2㎖/min - Panel & PC Control Nozzle / Vision Module - Nozzle & Pattern Vision (CCD Telescope Lens) - Vision Alignment Manual Stage (X Y Z Axis)이 장비를 사용하여 고속으로 이동시켜 점도를 가지는 고분자 용액을 방사방법을 이용해 라인 패턴화 할 수 있다. Vision 모듈을 통해 리소그래피의 실시간 관찰과 alignment 가 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/20130930144849119.jpg |
| 장비위치주소 | 경상북도 포항시 남구 청암로 67 (재)나노기반소프트일렉트로닉스연구단 포항공과대학교내 RIST 제3연구동 3층 3395 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183206 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040525 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |