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장비
장비 및 시설 기본정보
상압 레이저 분자살 켜쌓기 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Pascal |
| 모델명 | KA6LDM0J |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-09-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C516 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 일본파스칼사의 PLD장비로써 고출력 펄스형 레이저를 이용하여 다양한 재료의 단원소 혹은 다원소 박막을 증착 도중 이들의 두께를 원자단위로 제어하는 것이 가능하다. 초박막(Ultra-Thin Film)이나 규칙격자(Super Lattice) 박막제조가 가능한 장비로 2단 차등배기 구조를 RHEED에 적용하여 고압에서도 초박막 및 산화물 계면 조절이 가능한 것이 특징이다. Ⅰ.일반사양 - Deposition chamber & Common system - PC control w/Electro manual control - Multi-target manipulator - Target Z-motion motor control - Gate valve for Laser port replace glass in vacuum - Halogen Lamp Type Substrate Heating unit(>800°C) - 2nd Vaiable leak valve - Load-lock chamber with transfer mechanism - RHEED unit with double-stage differential pumping unit 성능 * 최대진공압력 :5×10-9 Torr * 작동이 용이한 콤팩트 디자인 * 적외선 램프 가열 방식 (옵션 : SiC 히팅 가능) * 특수 RHEED 장착 : 2단 차등 펌프 방식 사용 (상압근처에서 RHEED 패턴 관측으로 원자단위 두께 조절 가능) * Load/Lock 챔버 및 프리어닐링 히터: 2개 기판 홀더 4개 타깃 홀더 * Transfer Rod에 의한 기판 및 타겟의 교환 용이 * Z-모션 컨트롤 멀티 타킷 매니퓰레이터 : 연속 회전이 가능한 자기결합(Magnetic coupled) 타겟 회전 * 다양한 구송요소를 장착하기 위한 보조 포트원자 수준의 정확도를 가지는 산화물 박막 및 초박막을 증착하는 것은 산화물 계면 연구의 시작이라고 할 수 있다. 본 장비는 산화물 박막을 증착하는 장비로 다음과 같은 특징이 있다. 1. 출력 펄스형 레이저를 이용해 단원소 혹은 다원소박막을 증착하는 장비로 박막의 두께를 원자단위로 제어하는 것이 가능함. 초박막(Ultra-Thin Film)이나 규칙격자(Super Lattice) 박막제조가 가능 2. 2단 차등배기 구조를 RHEED 장비에 적용하여 고압에서도 원자단위로 초박막 및 산화물 계면을 조절하는 것이 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/2013092715484469.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교자연과학대학 산 56-1 서울대학교 19동 (자연과학대학) 4층 409호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-11-183938 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040367 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |