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SiC 단결정 seed 평탄화장비

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보유기관명	포스코
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C208
표준분류명
시설장비 설명	wire saw 등을 이용하여 절단한 여러 장의 Sic 기판을 동시에 원하는 두께로 표면 연마하는 설비로서 B4C slurry를 공급하여 정반과 캐리어내에 위치시킨 기판을 회전시켜 기판의 양면을 동시에 원하는 두께로 가공하는 장비임Main body Main spindle - Spindle type: gear box type - Spindle speed: 0~20rpm - plate size: 1150 x 374 x 65mmt Upper plate unit - Spindle speed: 0~20rpm - plate size: 1140 x 60mmt - plate material: cast iron 성능 - 4" & 6" 겸용 - 4" 기준 1회 40장 동시 가공SiC seed 기판 가공을 포함한 난연삭 기판 가공에 활용 wire saw 등을 이용하여 절단한 여러 장의 Sic 기판을 동시에 원하는 두께로 표면 연마 양면을 동시에 원하는 두께로 가공
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201307/.thumb/20130729144420767.jpg
장비위치주소	경북 포항시 남구 효자동 산32 포항산업과학연구원 7실험동 1층
NFEC 등록번호	NFEC-2013-07-181386
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040309
첨부파일