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장비
장비 및 시설 기본정보
IPES용 증착 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 야스 |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-09-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 연세대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Glass Size: 30mm * 30mm Organic evaporator: 10cc X 6pcs Cell(HT 2개 LT 4개) Metal evaporator: Boat 2 개 Align method: Pin Alignment(Mask Frame & Glass Holder) Alignment Accuracy: < ±200um @ Pin Alignment (between Glass Holder & Mask Frame) Substrate holder: Rotation Up/Down(With Shutter Rotation)IPES용 증착 증착의 전반적인 과정을 single deposition 및 co-deposition 모두 구현 가능한 시스템이며 단계별로 테스트 진행하며 환경 변화에 따른 증착의 변화를 테스트 할 수 있는 박막 증착용 R&D 장치이다.oragnic material 및 metal electrode의 증착이 모두 가능하며 inverted photo emission spectroscopy(IPES)를 측정하기 위한 직접적인 소자 제작이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131002194730668.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 서대문구 신촌동 연세대학교 134번지 연세대학교 과학원 지하1층 sb118호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183208 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040340 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |