| 보유기관명 |
성균관대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C509 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
진공증착기(원자층 증착기)는 산화물을 원자단위의 두께로 증착하는 장비이다. 유전체인 산화물은 나노공정에서 필수적인 역할을 하는데 이 두께를 정밀한 단위로 증착할 수 있는 유용한 장비이다.precursor이라 불리는 산화물 재료가 canistor에서 나와서 chamber로 들어간다. chamber는 진공인 상태이고 산화물 재료가 시료에 증착된 후 pump의 압력에 의해 빠져나가게 된다.현재 유망하게 연구되고 있는 top-gated FET(field-effect transistor 전계효과트랜지스터)의 경우 channel과 top-gate 사이에 전기장을 걸어줄 수 있는 유전층이 필요한데 이 때 이 유전층 증착에 많이 쓰인다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/2013080922384957.jpg |
| 장비위치주소 |
경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제1종합연구동 6층 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-08-182158 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040129 |
| 첨부파일 |
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