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장비
장비 및 시설 기본정보
주사탐침현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 파크시스템스 |
| 모델명 | XE-100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-12-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 금오공과대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 탐침을 이용하여 물질표면의 물리·화학적 구조에 대한 정보를 얻을 수 있는 기기로 시료의 표면을 처리하지 않고 관찰 할 수 있음 전기를 통하지 않는 부도체를 포함하여 수용액상의 고체 물질의 표면관찰이 가능하므로 각종 생물학적 시료를 포함한 표면이 유연한 시료의 관찰에 용이50㎛ 수평 (XY) 스캐너: 분해능 < 0.02nm 수직(Z) 측정 영역 최대 12㎛ : 분해능 < 0.01nm -시료와 팁에 2개의 독립된 클로즈드 루프 XY 및 Z 플랙셔 스캐너 사용전체 스캔 범위에서 2nm 미만의 평면 외 움직임 -잔여 굴곡이 적은 최대 100μm x 100μm의 평면 선형 XY 스캔 -고출력 스캐너로 최대 25μm의 Z 스캔 -정확한 높이 측정 -분당 0.5nm 미만의 낮은 표류도고분자물질 천연광석 등의 표면 분석 반도체의 표면 계측 defect 분석 콤펙트 디스크 자기디스크 등의 비트 분석 재료과학 폴리머 전기화학 및 나노과학/공학의 기타 응용 분야에 활용 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/2013110114453872.jpg |
| 장비위치주소 | 경북 구미시 양호동 금오공과대학교 1번지 금오공과대학교 그린에너지관/301 2층 203-1 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-11-183762 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041150 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |