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장비
장비 및 시설 기본정보
박막두께측정 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Alpha-Step IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-10-29 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | The Alpha-Step IQ stylus-based surface profiler combines high measurement precision with versatility and economy. Ideal for semiconductor pilot lines and materials research this advanced surface profiler enables faster process learning and higher yields. With guaranteed 8A… (1 sigma) or 0.1% step height repeatability and sub-angstrom resolution the Alpha-Step IQ surface profiler provides excellent repeatability and performance to analyze and monitor surface profiling processes.- Provides advanced and customizable 2D surface profiling analysis capabilities - Enables easy location of measurement features via saved site image with recipe. - Features excellent surface profiling process repeatability and reproducibility. - Precisely determines and analyzes thin step heights surface microroughness and overall form error on thin film surface coatings. -Provides sufficient vertical range for large topography variations. -Includes multiple language support for users with a worldwide presence. - Enables faster surface profiling analysis routines by applying saved sets of analysis instructions.- 나노박막 단차 측정 - 나노 마이크로 패턴 profile 측정 - 나노임프린트 패턴 측정 - 마이크로 노광 패턴 측정 - 투과성 나노박막 두께 측정 - 3D 마이크로 렌즈 profile 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/20140515161525156.JPG |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 장동 171 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 1층 13동 크린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-188234 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040954 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |