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장비
장비 및 시설 기본정보
오토 프로버
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Accretech |
| 모델명 | UF3000EX |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-02-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 에스케이하이닉스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 반도체 측정장비의 전기적 신호를 Probe Card 를 통해 Wafer 에 전달하기 위한 Interface 기능과 Program Control 에 의해서 Wafer를 자동 이동 및 Probing 하기 위해 사용하는 장비- Wafer Handling Size: 8"/12" - Chuck Tempearature Range: -55℃ ~ 200℃ - Low Current 특성 : < 50fA (Apply 0VDC)- Wafer Test Pattern의 Pad에 Contact함으로써 반도체 Wafer의 I-V C-V(전압 전류 Capacitance) 측정을 위한 Automatic Wafer Loading 및 Probing시 사용. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201403/.thumb/2014031310650135.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 이천시 부발읍 아미리 에스케이하이닉스(주) (경충대로 2091) SK하이닉스 기술지원센터 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-03-186399 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040938 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |