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고분해능 주사전자현미경

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보유기관명	한국기초과학지원연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	고분해능 주사 전자 현미경은 입사전자와 시료에 주사하여 시료로 부터 발생하는 2차 전자를 검출하여 고분해능 이미지를 얻고 분석 기능을 부여하여 시료의 마치크로 나노 크기에서 구조 및 성분을 분석하는 장비임.1) 이미지 관찰 - 분해능 : 1 nm - 배율 : x25∼x800000 - 전자총 : ZrO/W 쇼트키 타입 전계 방출형 5) Probe Current : 1 pA∼100 nA 6) EDS detector - Liquid Nitrogen free with integrated Peltier cooling system - Resolution of 133 eV or better measured at MnK 100000 CPS - Sensor size : 50 mm2 7) EBSD 8) BSD- 시료의 형상 관찰 - 시료의 구조분석 - 나노 구조체 분석 - 무기시료의 성분분석 - 박막의 두께 및 형상 관찰 - 금속시료의 석출물에 따른 구조 및 형상관찰 - 세라믹 시료의 결정립의 구조 분석
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201403/.thumb/2014032610181169.jpg
장비위치주소	부산 강서구 지사동 1274번지 한국기초과학지원연구원 부산센터 하이테크소재연구부 한국기초과학지원연구원 하이테크소재연구부 2층 202
NFEC 등록번호	NFEC-2014-03-186494
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040826
첨부파일