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장비
장비 및 시설 기본정보
고온 고압 초클라스키 결정성장시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 다다코리아 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-10-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | RF파워 40 kW 40 kHz 알루미나 및 지르코니아 내화물 파이로미터 C형 열전대등을 사용하여 최대 가용 온도가 2100 ℃로 녹는점이 높은 다양한 산화물 단결정 성장이 가능합니다. 또한 일반적인 초클라스키 챔버에서 사용하는 그라파이트와 텅스텐 도가니가 아닌 1 인치 이리듐 도가니를 사용하여 1900 ℃ 이상의 고온 산화 분위기에서도 산화물 단결정 성장이 가능할 뿐 만 아니라 10-3 Torr의 저 진공 분위기와 최대 104 Torr의 고압 하에서 단결정 성장이 가능한 장비입니다.기 기 구 성 - Chamber Module - HF Power Module - Pumping Module - 시료 인상 Module - Vacuum Gauge - Air 냉각수 분배기 및 제어 Sensor - System Frame - System Control Rack 및 제어부 구성 - Ir Crucible ￠28*30H*1.5t - Ir Shaft ￠2*100mm - Zirconia Insulator & 금형 성능 - System Chamber ￠400x450ℓ /Water Cooling - Pressure 10kg/㎠ - Front Door type - Illumination lamp - RF Power 40kw - Max Temperature 2100℃ - HF Induction Coil & Insulation Flange - Pyro meter / 800℃~2300℃ - Thermocouple C Type - Alumina ceramic Insulator - Temperature controller - Temperature Indicator - Rotary Pump 340 ℓ/min - Angle Valve NW25 - Servo Motor & 감속기 - 회전 0~50RPM - 인상속도 * 저속 : 0.1~30mm/H * 고속 : 0~200mm/H신 산화물 박막 연구에 필수적인 기판용 단결정을 고온 고압 하에서 성장이 가능한 장비입니다. 최근 보고된 가시광선 영역에서 투명하면서 우수한 전하이동도화 함께 전기전도도가 좋은 신 투명 산화물 반도체 물질인 (BaLa)SnO3 (4.1 A) 박막과 격자상수가 일치하는 기판을 찾는 것이 이 물질의 고유한 물리적 특성을 이해할 수 있으므로 매우 중요한데 본 장비를 이용하여 이 물질의 격자상수가 일치하는 BaSnO3 LaInO3 PbZrO3 등의 단결정 성장이 가능하다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013102913353639.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 22동 (자연과학대학) 2층 225호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-11-183736 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040816 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |