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장비
장비 및 시설 기본정보
듀얼집속이온빔장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Tescan |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-07-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 부산테크노파크 기계부품소재기술지원센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - FIB/FE-SEM/XRF-EDS/3D-MeX - Schottky Field Emission Gun - GIS(Gas Injection System) Nanorobotic Manipulator - Resolution : 1.2nm(SEI) 2.0nm(BEI) 5.0nm(FIB)- 배율 : × 4 ~ × 1000000 - 에칭속도 : 10um/57sec(Si) - 성분분석 : Be(4) ~ U(92) - 표면형상 : × 4 ~ × 50000- 재료의 조직 미세구조 분석 - 재질 조성 가공표면형상 면조도 분석(2D/3D) - 열처리 표면처리 도금 코팅 부품의 특정분석(단면/깊이) - TEM 시편준비 등 초정밀 이온빔 가공 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/201311191668914.jpg |
| 장비위치주소 | 부산 강서구 지사동 1274 부산테크노파크 기계부품소재기술지원센터 2층 본부동 2층 206호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-11-183990 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0038847 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |