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장비
장비 및 시설 기본정보
유기 광전 소자용 금속 성막기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 대동하이텍 |
| 모델명 | DDHT-TT2540 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-06-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | -Metal 및 dielectric material에 대해 저항 가열식의 증발원을 가열하여 원하는 박막을 substrate위에 증착시키는 장치로써 metal 및 Metal 및 dielectric material에 대해 원하는 박막에 대해 process가 가능하도록 제작되어 있으며 glove box와 연계되어 inert gas에서 sample loading 및 증착이 가능한 장비- Thermal evaporator와 glove box의 연계 system - 2 boat type의 metal evaporation source - 증착 substrate rotation unit - Thickness monitor control unit- Glove box내에 금속 성막기가 설치되어 inert gas에서 sample을 loading - Metal 및 dielectric material에 대해 저항 가열식의 증발원을 가열하여 substrate위에 성막 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201307/.thumb/2013073014726526.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 성북구 월곡2동 과학기술연구원 39-1번지 한국과학기술연구원 연구동(L1) 2층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-11-183975 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039082 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |