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장비
장비 및 시설 기본정보
소형에칭기/세정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 휴니텍 |
| 모델명 | PMC1000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-03-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 충남테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 반도체LED 디스플레이 TFT LCD photomask 전용 소형 에칭 / 세정기로 5inch 부터 7inch Squre photomask 전용 wet etching 및 cleaning장비Minimum Critical dimesion : 0.7um 이상 Available substrate size : 5inch ~ 7inch(Squre) jig제작시 5inch 이하도 가능 CD uniformity : Range < 80nm 이하 Defect : < 20pcs @ 6"반도체 LED 용 Photomask 제작을 위한 wet chemical etcher 및 Cleaner - 5inch ~ 7inch photomask Minimum Resolution : 0.7 um |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201306/.thumb/2013061019218450.jpg |
| 장비위치주소 | 충남 아산시 음봉면 동암리 33-1 디스플레이센타 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-08-181497 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039205 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |