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헬륨가스검출지그

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보유기관명	한국기계전기전자시험연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F504
표준분류명
시설장비 설명	LED PKG 및 반도체 소자의 기밀 정도 분석 -헬륨 가스 챔버 내의 LED PKG 및 반도체 소자를 위치시켜 주입된 헬륨가스의 양과 잔여량의 비교를 통해 비파괴 방법으로 해당 소자의 공극 및 기밀정도를 분설 할 수 있는 지그임.-전원공급: AC220V 1Ph 60Hz 접지 -에어공급: min. 5.5 ~ 6 Bar -헬륨배기 후드시설 설치 및 연결작업 -Leak Rate: AL057(4.7E-6 atm cc/sec He) AL052(8.6E-7 atm cc/sec He)-LED PKG 및 반도체 소자에 공극이 존재할 경우 주입된 헬륨 가스는 PKG 및 소자 내부에 침투한다. 헬륨가스의 변화된 잔여량을 헬륨가스 검출기를 통해 확인 할 수 있다.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201305/.thumb/20130521184132283.JPG
장비위치주소	경기 군포시 금정동 692-8 한국기계전기전자시험연구원 3동 3층 고장분석실
NFEC 등록번호	NFEC-2013-05-179050
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0037776
첨부파일