- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
I/V 프로브 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Keithley Instruments |
| 모델명 | MST4000A |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-02-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 부경대학교 용당캠퍼스 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 반도체의 wafer상태 소자 그리고 PCB 상에서의 전기적 물성 및 특성을 측정하는 고정밀급 반도체용 Probing 장비로서 반도체의 동작 전압측정 동작 전류측정 누설전류측정 브레이크 다운 전압측정 전도도 및 저항측정 디바이스 수명예측 Hot Carrier Test 등 다양한 파라메터를 측정하기 위해 프로빙이 가능하다.1.프로브 스테이션 본체 단위 - 4 "주변 동축 척 - X Y 단계 (여행 50x50mm 고급 모션) 2.현미경 (최대 : 100X) - 접안 렌즈 : 20X - 줌 : 0.7 ~ 5 배 - 총 배율 : 100X (최대) 3. 마이크로 포지셔너 바디 단위 - 머니퓰레이터의 LM 리드 가이드마이크로 미터 손잡이 - 자기베이스 - 해상도 : 2 ㎛ 여행 : 6 ㎛ 4. 위치 추적 홀더 : C_type - TRX 케이블 2m TRX 어댑터 5. 일회용 프로브 포인트 0.5 ㎛ 6. 진공 펌프 : 실험실을위한 저소음 7. 다크 방패 box_Air Shoba 유형 - 치수 : 700 (W) X 700 (D) X 700 (H) - 4 축 (F) 축에 (F) _Plate 판넬 8. 메인 프레임 : - 윈도우 XP OS와 PC 기반의 악기 9. 높은 전원 소스 / 측정 단위 - 현재 소스 범위 : 1A 100nA로 - 현재 소스 해상도 (Min.) : 5pA - 현재 측정 해상도 (Min.) : 100fA - 전압 소스 범위 : 200mV ~ 200 V - 전압 소스 해상도 (Min.) : 5μV - 전압 측정 해상도 (Min.) : 1μV* 조명-기술개발 * I/V Probing |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201303/.thumb/2013032814135611.JPG |
| 장비위치주소 | 부산 남구 용당동 부경대학교용당캠퍼스 산100 부경대학교 용당캠퍼스 LED-해양융합기술연구센터 4층 404 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-177325 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0037727 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |