| 보유기관명 |
솔브레인 주식회사 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
F201 |
| 표준분류명 |
|
| 시설장비 설명 |
NV-2000 은 Economic Type으로 비접촉식 방법으로 0.1 nm ~ 270 um 까지의 3차원 표면형상을 고정도 고속측정이 가능하며 터렛을 이용한 간편한 배율조정과 정합기능 사용으로 넓은 면의 세밀한 분석이 가능합니다. 단색 파장광을 이용한 광간섭 측정법인 광 위상 간섭법을 사용하여 높은 분해능과 고속 측정이 가능하다. 임의의 기준점에서 동시에 출발한 광이 각기 다른 광 경로를 이동한 후 합쳐질 때 두 광이 지난 거리차에 따른 물리적 현상이 빛의 밝고 어두운 형태로 표현되는 간섭 신호를 이용하여 기준광과 측정광을 측정하고자 하는 면에 조사하면 기준면은 완벽한 평면으로 정의할 수 있으므로 백색광 및 광 위상 간섭계의 카메라를 통하여 획득되는 영상의 간섭 신호는 이 기준면에 대한 상대적인 높이 정보를 포함하고 있으므로 이를 통하여 미세 패턴의 3차원 형상을 측정할 수 있는 장비이다. 자사는 패터닝된 유기막의 두께 및 패턴 profile 을 관찰하는 데 사용하고 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121114191211.jpg |
| 장비위치주소 |
경기도 용인시 기흥구 신갈동 400-9 솔브레인 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-02-175238 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0037023 |
| 첨부파일 |
|
