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장비
장비 및 시설 기본정보
패턴 코터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 피엔티(Pnt) |
| 모델명 | 11C-KCC-IMU-1600-2 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-05-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)KCC 중앙연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 광학 시뮬레이션을 통한 최적의 미세 Pattern을 PET Film에 3D로 전사시키는 Pattern Roll로서 Pattern Coater의 상태에 따라 Pattern의 전사성이 좌우됨. 미세한 Scratch의 관리도 중요함.Pattern Coater의 Size에 따라 속도를 조절할 수 있으며 특히 Pattern Roll과 Film Roll 사이의 간격 조절을 통한 Pattern의 전사 높이를 조절할 수 있음.과제 개발 진행에 따른 Pattern Coater의 크기에 따라 공정 조건들을 조절하여 Pattern 전사성 Test를 진행 할 수 있었으며 Pattern Coater는 세척 및 보관이 가장 중요함. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201302/.thumb/20130222165644447.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 용인시 기흥구 마북동 83번지 (주)케이씨씨 F1 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-176411 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0036985 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |