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장비
장비 및 시설 기본정보
표면저항측정시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이아이티 |
| 모델명 | CMT-SR2000N |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-01-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D102 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - Measuring method : contacted method by 4-point probe - Loading and measuring for max. 200mm wafer or 140x140 mm square substrates - Sheet resistance(ohm/sq) measurement - Resistivity(ohm·cm) is measured when knowing the thickness and the purity of the measured conductive materials - Auto and manual measurement - Operating by stand-alone and PC with operating software - Versatile data analysis functions(contour/3-D map etc.)- Sheet resistance measuring range : 1mohm/sq ~ 2Mohm/sq - Resistivity measuring range : 10μohm·cm ~ 200kohm·cm - Current and voltage source : 10nA to 100mA and 0V to 2V - Current and voltage source accuracy : ±0.5% - Measurement accuracy : ±1.0% - Measurement time : approximately 3±1sec/point- Sheet resistance and resistivity measurement for silicon wafer metal and ITO - LCD LED OLED and Solar cells devices - Fuel cells touch panels and CNT |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201302/.thumb/20130228165659543.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 2층 205 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-176593 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0036919 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |