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장비 및 시설 기본정보
전자선 진공증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한진공개발 |
| 모델명 | E-BEAM Evaporator |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-06-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 가천대학교 글로벌캠퍼스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. Vacuum Chamber Assembly 2. Vacuum system 3. Power Supply 4. Electron Beam Gun 5. Controller panel 6. Substrate 7. Thermal Deposition source & power supply 나노소재 반도체 광학 통신 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/1154344552_1.jpg |
| 장비위치주소 | 경기도 성남시 수정구 복정동 산 65번지 새롬관 청정실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-000901 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0000190 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |