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장비
장비 및 시설 기본정보
중적외선 카메라
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Infratec |
| 모델명 | Image IR8300 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-03-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A309 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 기초(연) 일반사업으로 개발이 진행 중인 고해상도 적외선 광학계를 활용한 반도체 소자 검사용 초정밀 열영상 현미경 개발을 위해 본 장비가 필요함. 절대온도 0도 이상의 시료로부터 방사되는 중적외선을 검출하여 전기적 신호로 변환하고 이를 실시간으로 이미지화 하는 반도체 검사용 중적외선 카메라 센서임. 초정밀 열영상 현미경 개발사업은 세계 최고 성능의 열영상 현미경 장비를 개발하여 마이크로 전자부품 (LED LD 태양전지 트랜지스터 집적회로 등)의 정량적 열분석 연구 생체내부의 반응에 따른 작용기전을 열상변화 측면에서 규명하는 바이오/의료 열화상 이미징 연구에 활용함. 특히 반도체 칩내부의 결함검사 전용장비로써 창의적 연구 성과 창출 국가적 공동 연구장비로 활용을 목표로 한 첨단 연구장비 개발 사업에 사용됨.Features 1. The mid-infrared camera must use an InSb FPA cooled detector with 640 x 512 pixels and 15um pitch for the best resolution. 2. Thermal resolution must be better than 20mK by camera itself. 3. The mid-infrared camera must be able to transfer over 117 IR images at 640 x 512 pixels per second to PC or system controller. 4. The mid-infrared camera must be able to be control its integration time and frame rate by user. 5. The mid-infrared camera must be available to edit produce and manage temperature calibration files by its software. System Configuration 1) Thermographic System (640 x 512 pixel 15um pitch) 2) Standard lens 25mm (FOV 21.7 x 17.5deg) 3) Microscopic lens 8.0x (FOV (1.2x0.96) mm) 4) NDT System for excitation source 5) Motorized remotely controllable focusing for 25mm lens 6) Filter wheel & aperture wheel 7) On glass filter 8) Through glass filter 9) NDT Software (LIT PPT Quotient method) 10) Notebook : Intel I5-540M(2.53GHz) LCD 13.3inch HDD 500G VGA512 Windows7 or bette Specification 1) Detector type : Indium Antimonide(InSb) FPA 2) Spectral range : 1.8 - 5.5 μm - Detector format(IR pixels) : 640 x 512 - Detector pitch: 15 μm - Detector cooling : Stirling closed cycle cooler - Measurement accuracy : ± 1 °C or ± 1 %고해상도 적외선 광학계를 활용한 반도체 소자 검사용 초정밀 열영상 현미경 개발을 위해 본 장비가 필요함. 본 장비는 절대온도 0도 이상의 시료로부터 방사되는 중적외선을 검출하여 전기적 신호로 변환하고 이를 실시간으로 이미지화 하는 반도체 검사용 중적외선 카메라로 특히 반도체 칩내부의 결함검사 전용장비로써 창의적 연구 성과 창출 국가적 공동 연구장비로 활용을 목표로 한 첨단연구장비 개발에 사용하고자 함. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201304/.thumb/2013041610320151.JPG |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 과학로 169-148 (어은동) 한국기초과학지원연구원 연구2동 1층 156 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-04-177668 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0038244 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |