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장비 및 시설 기본정보
터보펌프고분해능스퍼터코팅기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Quorum Technologies |
| 모델명 | EMITECH K575X |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-05-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 울산과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 고진공 60L/S터보 펌프가 장착되고 크롬(Chromium) 같은 금속을 스퍼터링이 가능. 2. 전 자동으로 완전하게 코팅 컨트롤이 가능 3. 다양한 조건의 메뉴와 유저키 입력이 가능하며 다수의 유저에 의한 오퍼레이션이 가능함 4. 스퍼터링· 코팅 사이클은 5분 이내에 가능 5. 이온 스퍼터링 코팅 전류 최대 150mA 가변이 가능 6. 펠타이어 냉각방식으로 냉각수가 필요 없으며 직경 100mm 시료 장착이 가능 7. 스퍼터링의 진행을 미리 저장하여 조건에 따라 가스압력밸브를 조절하여 코팅이 진행가능1. 시료실 사이즈 : 165mm 이상 2. 자동으로 시료기울기와 회전 3. Cr 입자크기: 0.5nm 4. 코팅 장치 크기 : W450 mm x D350 mm x H175 mm 이상 5. 타켓 : 54mm 다이아메터 0.2mm두께 크롬 타켓 기본 장착 6. 시료 스테이지 : 60mm다이아메터에 6개의 스토브장착 모터드라이버 회전0~90도 Tilt 가능 7. 진공 범위 : 1X10-3mbar~1X10-4mbar 8. 사용전원 : 230V 50Hz펌프 포함 8A 단상115V 60Hz 펌프 포함19A 단상Pt, Au, Cr 등 다양한 금속 스퍼터링 가능. 전계방출형 전자현미경 (FE-SEM) 장비 분석시 비 전도성 시료의 분석이 가능하게 전도성 코팅가능. 전지 물질의 전극 제작 가능. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201212/.thumb/20121203101250.jpg |
| 장비위치주소 | 울산광역시 울주군 언양읍 유니스트길 50 울산과학기술대학교 자연과학관 지하1층 B109 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174518 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035402 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |