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장비
장비 및 시설 기본정보
나노 전사 프린팅 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 서울엔지니어링 |
| 모델명 | 모델명없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-10-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C516 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. Structure 1) 테이블 재질 ① Inside : 석정반 ② Outside : AL 6061 외 2. Control Part 1) Stage ① Control Method : Programmable P/C 통신 RS232C ② 기능 : 메모리 에러 지정 및 표시비상 정지 키 스위치 2) 스테이지 ① Motor control system ② 조작 부 : 조이스틱 3) Switches ① ELB : Main power breaker ② Power "On" "Off" switch : 각 1ea c Key switch : 1ea ④ Emergency switch : For safety protection 3. UTILITY 1)전원 ① 단상 220V 15A 1EA ② 단상 110V 15A 1EA 4. Safety Device 1) 스테이지 ① PLC를 채용하여 Relay등 전장부품을 간소화하여 안정성을 확보 ② 비상정지 S/W 설치 ③ CE 인증 규격1) 현미경 ①관찰 모드 :명시야 ②대물렌즈 :Zoom optical micro scope 1:7이상 zoom 비 유지 ③대안렌즈 :Camera 연결 ④광원 : 반사 (12V100W 할로겐 램프) 개별 ON/OFF 가능 ⑤초점 조절 장치: 수동 초점 조절 장치 ⑥HEAD : 단안 렌즈 ⑦ Vision Move : 다 관절 free move type 2) X.Y Stage ① Stage 종류 : X.Y 정밀 Micro stage ② Stroke : 150x150mm ③ Linear scale : 0.2um linear scale ④ Min speed : 3um/sec ⑤ Max speed : 100mm/sec ⑥ Load : X :40Kg Y :20Kg ⑦ R-stage : 360 dgree stage 3) Z1 Stage ①TYPE : BALL SCREW STEP STAGE MODULE ②STROKE : 80mm ③모터 : 마이크로 스텝 모터 또는 동등 기종 ④센서 : 홈센서+- 리미트 센서 ⑤제어 : 컴퓨터 프로그램 제어조작부에 의한 제어 ⑥Linea scale : 0.2um linear scale ⑦Min speed : 3um/sec ⑧Max speed : 50mm/sec ⑨Load : 20Kg 4) Z2 Stage ①TYPE : Lift STAGE MODULE ②STROKE : 2mm ③Max speed : 1m/sec ⑨Load : 50Kg 5) Holder ①TYPE : Air type Heater max 200도 ②temp control 내장 ③쿼츠 : 10mm이내 ④스테인레스 홀더 ⑤알루미늄 홀더 ⑥ 평탄도 : 5um 6) 제어 ①TYPE : P-mac control ②control panel 설치 7) 전계장 ①별도의 rack type 8) load cell ①측정 범위 5kg(100kg) ②최소단위 1g(10g) ③ 정도 ±0.5% ④통신 : RS-232C ⑤ 출력 :±2V 9) 영상 장치 ①CCD CAMERA : 1024 X768 디지털 카메라 (LASER 보호 CUT 필터 장착) ②1394i board 10) Patterning용 UV 조명 장치 ① UV 파장 조명 장치 추가 ② 수동 Etching 작업 진행용 조명 장치 추가 하여 탈부착 가능 하도록 설계 11) 프로그램 ①주요 제어부 :영상스테이지 ②현미경 : ③스테이지 : 구동 및 맵 정보 표시 및 저장.속도 및 위치 이동 등 제어.X.Y제어 ④영상 : 이미지 관찰측정 저장 기능 제공 및 기타 분석 기능 제공. ⑥자동 이송 기능 제공.- 고해상도 전송 프린팅 공정에 사용됨. (2/3차원 또는 단층/다층 구조의 나노미터급 해상도) - 플렉서블 회로 구성 위한 소자의 기판간 전송 C35에 사용됨. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121113193549.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 2연구동 7층 710 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-176715 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0036814 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |