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장비 및 시설 기본정보

진공증착기(열증착기)

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 대동하이텍
모델명 모델명 없음
장비사양
취득일자 2012-07-30
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 성균관대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C503
표준분류명
시설장비 설명 - Compact type
- Fast Deposition process
- Easy Sample Loading Type
- Easy Source refill type
- Fast Vacuum pumping
- Continue deposition process available type for Al process by special boat
. Up to 10㎛ deposition per one boat1. VACUUM PROCESS CHAMBER 1 SET
1-1. MAIN CHAMBER
. MATERIAL : SUS 304
. SIZE : I.D 310(W) x 310(D) x 310(H)
REDUCING ADAPTOR FLANGE : 1 EA
FRONT SIDE FULL OPEN DOOR
. I.D 6" FLANGE FOR TURBO PUMP MOUNT PORT : 1 EA
. I.D 4" FLANGE FOR VIEW WINDOW PORT & SHIELD ASSEMBLY : 1 SET
. INCLUDE MIRROR TYPE WINDOW
. CF 2.75" FLANGE FOR GAUGE & THICKNESS SENSOR & ETC : 6 EA
. 1" HOLE FOR THERMAL ELECTRODE MOUNT PORT : 6 EA
. CHAMBER INSIDE SHIED COVER : 1 SET
. CHAMBER ALL ELECTRICAL POLISHING
1-2. LOADING CHAMBER
. MATERIAL : SUS 304
. TOP FLANGE FOR SUBSTRATE HEATER & ROTATOR MOUNT PORT : 1 SET
TOP SIDE DOOR OPEN/CLOSE TYPE (BY GAS SPRING)
. GATE PORT ADAPTOR FLANGE : 1 SET
2. VACUUM PUMPING UNIT 1 SET
① TURBO PUMP & CONTROLLER : 1 SET
. PUMPING SPEED : 400 L/Sec(N2)
. I.D 6" MOUNT FLANGE
. EDWARD or ALCATEL BRAND
② ROTARY VACUUM PUMP : 1 EA (KOREA BRAND)
. PUMPING SPEED : 600 L/Min
③ I.D 10" GATE VALVE (PNEUMATIC) : 1 EA FOR LOADLOCK GATE
④ I.D 6" GATE VALVE (PNEUMATIC) : 1 EA FOR FRONT TURBO PUMP
⑤ NW25 ANGLE VALVE (PNEUMATIC) : 3 EA
⑥ CHAMBER VENT VALVE : 2 EA
FOR MAIN CHAMBER & LOADLOCK CHAMBER VENTING
⑦ NW25 FLEXIBLE METAL HOSE (1M) : 3 EA
⑧ SOLENOID VALVE FOR ROTARY LINE VENT : 1 EA
⑨ ETC ADAPTOR : 1 SET
⑩ VACUUM DIAGRAM SCHEMATIC CONTROL PANEL WITH SAFETY ALARM (SEMI-AUTO)
. PUMP ON/OFF SWITCH & UTILITY SAFETY INTERLOCK
. AUTO VACUUM PUMPING & AUTO CHAMBER VENTING FUNCTION (BY PLC H/W & S/W)
. OPERATING BY 10.8" COLOR TOUCH PANEL
3. SAMPLE ROTATION UNIT 1 SET
① SUBSTRATE ROTATION ASSEMBLY : 1 SET
. ROTARY MOTION FEEDTHROUGH : 1 EA FOR SUBSTRATE ROTATION
. ROTATION GEAR & BEARING HOUSING 일체
. ROTATION SHAFT & SHAFT SUPPORTER & ROTATION BAR
. SUBSTRATE HOUSING & HOLDER : 1 SET
. MATERIAL : SUS
. SIZE : O.D 165∮
. 25mm x 25mm SAMPLE 13 SHEETS MOUNTABLE HOLDER : 1 SET
. SAMPLE BACK SIDE LOADING TYPE
. SHADOW MASK (SUS 0.3T) : 1 SET
(CUSTOMER DEFINE)
. MAIN SUBSTRATE HOLDER SUPPORT P10-6 torr 이하의 고진공에서 gold를 박막으로 증착시에 사용
solid-state dye-sensitized solar cell에서 상대전극으로 골드를 택할경우 사용하여 증착한다.
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201305/.thumb/20130507165316824.jpg
장비위치주소 경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제2공학관 4층 26405B
NFEC 등록번호 NFEC-2013-05-178724
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0037203
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)